半導(dǎo)體用透明石英玻璃管
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1 主 題 內(nèi) 容 與 適 用 范 圍
本 標(biāo) 準(zhǔn) 規(guī) 定 了 半 導(dǎo) 體 用 透 明 石 英 玻 璃 管 的 分 類 、 規(guī) 格 尺 寸 、 技 術(shù) 要 求 、 試 驗 方 法 、 檢 驗 規(guī) 則 及 標(biāo) 志 、 包 裝 、 運 輸 和 貯 存 等 。
本 標(biāo) 準(zhǔn) 適 用 于 天 然 水 晶 或 天 然 高 純 二 氧 化 硅 、 硅 鹵 化 物 作 原 料 ， 應(yīng) 用 于 半 導(dǎo) 體 工 業(yè) 的 透 明 石 英 玻 璃 管 （以 下 簡 稱 石 英 玻 璃 管 ）。 冶 金 、 化 學(xué) 工 業(yè) 用 透 明 石 英 玻 璃 管 也 可 參 照 本 標(biāo) 準(zhǔn) 。
2 引 用 標(biāo) 準(zhǔn)
GB/T 3284 石 英 玻 璃 化 學(xué) 成 分 分 析 方 法
GB 5949 透 明 石 英 玻 璃 氣 泡 、 氣 線 檢 驗 方 法
GB 10701 石 英 玻 璃 熱 穩(wěn) 定 性 檢 驗 方 法
GB/T 12442 石 英 玻 璃 中 羥 基 含 量 試 驗 方 法 。
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