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半導體濕法清洗設備

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

1) 采用工控機 PLC 條碼槍控制,方便信息的讀取、記錄,可與工廠(chǎng)MES系統相連接; 2) 適用于多種規格硅片的腐蝕清洗,同一臺設備可編程多套運行軟件; 3) 跟據工藝需求,槽體可匹配超(兆)聲、抖動(dòng)、旋轉、溢流循環(huán)等功能; 4) 全自動(dòng)控制,可選擇自動(dòng)配、補液,保證了操作的安全穩定性; 5) 高速移載機械手,伺服驅動(dòng)控制,保證運行平穩,定位可靠; 6) 機械手直接夾取PFA籃筐(或夾取片子),更好的滿(mǎn)足工藝需求。   

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