拋光墊又稱拋光皮，拋光布，拋光片，是平面研磨拋光中決定表面質量的重要研磨耗材。拋光墊按是否含有磨料可以分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊;

　　按材質的不同可以分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊和復合型拋光墊;按表面結構的不同大致可分為平面型、網(wǎng)格型和螺旋線型。

　　拋光墊的作用原理：①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域;②將拋光后便化學反應充分進行;的反應物、碎屑等順利排出，達到去除效果;③維持拋光墊表面的拋光液薄膜,

　　以便化學反應充分進行;④保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形,以便獲得較好的晶片表面形貌;

　　拋光墊的主要參數(shù)：①硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力;②壓縮比-壓縮比反應拋光墊的抗變形能力;③涵養(yǎng)量-拋光墊的涵養(yǎng)量是單位體積的拋光墊存儲拋光液的質量;④粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度;⑤密度-密度是拋光墊材料的致密程度。

　　拋光過程中具有：1、效率高，較之同類產品不僅切削力快，無殘留刀痕。其表面非常光滑、整齊。2、使用壽命長。3、彈性好，力道柔和等特點。

　　拋光過程后具有：無劃傷，不產生麻點，得到一個非常光滑、整齊的效果。

　　開槽：我們的拋光墊可以開各種槽形，槽可幫助拋光液流動并帶走切削的細屑。標準槽深為拋光墊厚度1/2?？梢詾榭蛻舨煌_槽要求定制。