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寧波森利硅(Si)旋轉靶材

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

產(chǎn)品詳情 應用領(lǐng)域:觸摸屏、顯示器、薄膜太陽(yáng)能 性能 參數 典型數值  生產(chǎn)工藝 等離子熱噴涂 主要成分 Si 純度 >99.99wt% 密度 ≥2.2g/cm3 電阻率 <40 Ω·cm 金屬雜質(zhì)含量 Fe≤100ppm, Cu≤10ppm, Al≤20ppm. Total≤100ppm 氣體雜質(zhì)含量 O≤2500ppm, N≤500ppm 靶材尺寸 Maximal OD: 151mm,Length: 4000mm。

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