技術(shù)參數 外 形 尺 寸：2400×2100×2000mm 工件尺寸：450X550mm(可根據客戶(hù)要求) 工件厚度：0.3 — 1.1mm 對位精度：±0.0025mm   曝光線(xiàn)寬線(xiàn)距：0.01-0.015mm 平臺平面度： ± 0.015mm 傳輸面高度：900mm ±25mm 生產(chǎn)節拍：25S/pcs 控制系統：PLC+觸摸屏 電  源 ：三相380VAC  40KW 壓 縮 氣 源：5 Kg/cm2      50L/Min 冷卻水：2 Kg/cm2 20L/Min   溫度≤15度 重  量 ：約1000Kg  功能與特點(diǎn) ◆主要用于玻璃、硅片表面涂布后進(jìn)行的曝光的專(zhuān)用設備； ◆該機由入料傳輸+光源系統+機械手搬運+自動(dòng)對位系統+自帶冷風(fēng)系統組成； ◆對位系統采用日本法視特視覺(jué)系統+UVW平臺；具有對位精度高、穩定性好等特點(diǎn)； ◆光源系統采用日本進(jìn)口平行光源；曝光精度高、光照均勻性好； ◆檢測玻璃厚度和間隙采用日本進(jìn)口的位移傳感器，具有精度高、穩定性好、響應速度快、壽命長(cháng)等特點(diǎn)； ◆整機內部全部采用黑色烤漆處理；防止曝光時(shí)反光引起曝光不均勻。