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江蘇/浙江/上海工業(yè)超純水設備

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產品詳細

為什么超純水在半導體行業(yè)生產中具有很高的重要性        超純水系統(tǒng)被稱之為半導體行業(yè)的血脈,半導體行業(yè)又是一個高能耗的行業(yè),在半導體產品制造過程中,由于生產設備的精mi性和生產工藝的復雜性,對其配套設施提出了很高的要求。 在芯片、集成電路等生產中,由于半導體元件集成度高,生產線窄,對水質要求特別高,超純水成為了電子行業(yè)的“標配”,超純水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低,III族元素 (B、Al、Ga等)會使N型半導體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性惡化,水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%) 會使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。可見,超純水在半導體行業(yè)中的重要性。     半導體超純水設備出水水質要符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業(yè)電子級水質技術標準(18 MΩ.cm、15 MΩ.cm、10 MΩ.cm、2 MΩ.cm、0.5 MΩ.cm)、我國電子工業(yè)超純水水質試行標準、半導體工業(yè)用純水指標、集成電路水質標準。    國內的超純水設備廠家很多,工藝也比較透明,目前的超純水設備工藝是二級反滲透 EDI裝置 出水電阻率達到15兆歐,或者雙級反滲透系統(tǒng) EDI 拋光混床工藝,出水電阻率可達18兆歐。    超純水系統(tǒng)的主要部件之一是RO反滲透膜,RO膜的價格和壽命是超純水系統(tǒng)設計中重要的考慮因素,假如反滲透膜都采取國外進口,超純水設備價格會超出許多,雖然國外反滲透膜超濾膜起步比我們早,但國內一些優(yōu)xiu的膜廠家經過多年精進發(fā)展,產品質量穩(wěn)定,而且售前售后服務也比較到位,價格較進口膜有很大的優(yōu)勢,市場占有率越來越高。 在超純水制造工藝中,傳統(tǒng)預處理方式是“由多介質過濾器 活性碳過濾器”,傳統(tǒng)的預處理過程中SDI值不好控制,一般大于5,不利于后續(xù)的一級反滲透系統(tǒng)的運行。而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定,通常可保證SDI<3,能夠有效地保證一級反滲透系統(tǒng)的運行,且對比傳統(tǒng)的預處理方式占地面積大的缺陷,為企業(yè)節(jié)省較高的基建費用。              南通麥科自動化在水處理行業(yè)深耕多年,結合市場對半導體制造等行業(yè)的需求,為各行業(yè)設計成熟、可靠、自動化程度高、高性能、高性價比的超純水設備,不但出水電阻率能穩(wěn)定達到生產需求,且優(yōu)化整套工藝,綜合一次性投資成本和后期運行維護費用,能有效保障后期處理設備的安全,延長設備的使用壽命。                              

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