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前沿真空設備供應LOW-E玻璃生產(chǎn)線(xiàn)

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

  low-e玻璃是在優(yōu)質(zhì)的浮法玻璃基片表面上用磁控濺射的方法,鍍制多層特殊的金屬、化合物薄膜及介質(zhì)膜,對遠紅外光具有雙向作用,既可以阻止太陽(yáng)光產(chǎn)生的熱輻射進(jìn)入室內,又可以將室內物體產(chǎn)生的熱反射回來(lái),從而降低玻璃的熱輻射通過(guò)量,具有其它節能玻璃所不具備的優(yōu)勢。 該生產(chǎn)線(xiàn)主要由清洗系統、抽氣系統、鍍膜系統、檢測系統及控制系統組成。 主要性能特點(diǎn): 1、采用旋轉孿生靶中頻反應濺射技術(shù),大大提高了介質(zhì)膜的沉積速率及膜層的均勻度,且靶材利用率大大提高;  2、采用先進(jìn)的PEM閉環(huán)控制系統,確保反應濺射在金屬濺射的過(guò)渡區,大大提高了反應濺射的效率及膜層成分的準確性; 3、真空室內部高、低真空區采用多級真空鎖進(jìn)行隔離,每個(gè)濺射區根據靶材不同采用有效的氣體隔離,保證每個(gè)濺射區氣壓的穩定性,工藝氣體純度及穩定性。 4、過(guò)程控制采用美國AB公司系列PLC及控制設備,系統通訊通過(guò)ControlNet網(wǎng)絡(luò )實(shí)現各設備間的信息交換,使整個(gè)系統結構簡(jiǎn)單可靠,從而可在手動(dòng)/自動(dòng)控制間從容切換; 5、采用光學(xué)在線(xiàn)檢測系統,快速采集濺射過(guò)程基片的透射、反射光光譜等各種數據和曲線(xiàn),并和設定標準數據相比較,對濺射過(guò)程進(jìn)行有效控制;  

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