Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測量系統采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。 測量原理：低相干邁克爾遜干涉儀   如圖所示： Light Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束，經(jīng)Beamsplitter分束成兩束光，這兩束光通過(guò)準直儀聚焦到Measurement arm(測量臂)和Reference arm(參考臂)上；在測量臂段，光束經(jīng)待測物前后兩表面反射產(chǎn)生兩束反射光；在參考臂段，光束被delay line(延遲線(xiàn)路)中的掃描參考鏡反射。各反射光束經(jīng)光纖返回到Beamsplitter 中，此時(shí)掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號經(jīng)探測器(光電二級管)轉換為電信號再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以準確移動(dòng)，當干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時(shí)，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過(guò)監控參考鏡的移動(dòng)，就可以測量被測鏡的位置。   OptiGauge測厚儀特點(diǎn) 1. 非接觸式、非破壞性； 2. 實(shí)時(shí)在線(xiàn)測量或離線(xiàn)測量； 3. 可單次測量多層膜，MAX可測 20 層； 4. 探針靈活配置，實(shí)現多個(gè)不同目標測量 （MAX可配8個(gè)探頭）； 5. 測試速度快（1s） 6. 適用范圍廣  測厚儀性能參數： 型號 OptiGauge® LT OptiGauge　II OptiGauge EMS 測量范圍（n=1.5） 12μm to 3.3 mm 12μm to 12 mm 12μm to 35 mm 測量層數 1 20 20 JUE DUI精度 ±1μm ±0.1μm ±0.1μm 重復精度 1μm 1σ 0.1μm 1σ 0.1μm 1σ 掃描速率 50Hz 50Hz,100Hz 和200Hz可選 20Hz 光源 1310nm SLED 45nm wide 1310nm SLED 45nm wide 1310nm SLED 45nm wide 測量頭工作距離 25mm and 50mm 25mm and 50mm 25mm and 50mm 光纖長(cháng)度 3m，max 1000m 3m，max 1000m 3m，max 1000m 測厚儀應用領(lǐng)域： Lumetrics 產(chǎn)品既可以提供單獨的測量頭，也可以集成在各種設備中，廣泛應用在以下領(lǐng)域，   1、光電子行業(yè)： 2 、薄膜行業(yè)：測量塑料薄膜的厚度 3 、YILIAO行業(yè)：測量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙、血袋等 4、單件元件厚度控制（特別適用于紅外材料，測量厚度控制平行度）5 、平板玻璃厚度測試：浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測量