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真空磁控濺射鍍膜設備,鍍膜機

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

產(chǎn)品名稱(chēng):MSC系列磁控濺射鍍膜機 產(chǎn)品描述:MSC型磁控濺射真空鍍膜機是立式單開(kāi)門(mén)非平衡磁控反應濺射鍍膜機。此設備所沉積的膜層在致密度、均勻度、純度、硬度等方面均有提高。廣泛應用于手表、眼鏡、通訊、電子、機械、裝飾和交通航空等領(lǐng)域的高檔裝飾和功能薄膜。 主要特點(diǎn):        1、沉積速率快,溫升小,能較好抑制打火及靶中毒現象; 2、濺射釋放的高能量使膜層密度和附著(zhù)力有顯著(zhù)提高; 3、觸摸屏+PLC,可實(shí)現全自動(dòng)控制,自動(dòng)/手動(dòng)隨時(shí)切換; 4、鍍膜室容積大,裝載量大,生產(chǎn)效率高。 5、工件架采用公轉結構,可設置自動(dòng)正反轉,產(chǎn)品均勻**好; 6、整機配置合理,抽氣速率快,噪聲小,耗能低;   基本配置: 1、鍍膜室、閥門(mén)、管道均采用不銹鋼制造,立式、單開(kāi)門(mén)結構,真空室有效直徑自Φ1000mm~Φ1800mm;; 2、真空系統由機械泵、旋片泵、羅茨泵和帶冷阱高真空油擴散泵或分子泵組成; 3、鍍膜系統采用2~8套平面靶或柱靶,配有2~8個(gè)直流電源或中頻電源; 4、輔助抽氣系統采用一臺低溫水汽捕集器; 5、充氣系統采用1~4路氣體流量計及流量控制(顯示)儀控制; 6、電控系統設置電路過(guò)載、斷水、斷氣聲光報警裝置; 7、控制系統(觸摸屏+PLC),實(shí)時(shí)顯示詳細參數,全自動(dòng)控制整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程,并自動(dòng)存儲工藝參數。 8、可根據客戶(hù)要求配多套靶源。

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