主營(yíng):濺射靶材,鍍膜靶材,金屬靶材,旋轉靶材,平面靶材
所在地:
廣東 廣州
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發(fā)布時(shí)間:
2024-07-29
有效期至:
2025-09-17
產(chǎn)品詳細
濺射靶材磁控濺射原理:在被濺射的靶極(陰極)與陽(yáng)極之間加一個(gè)正交磁場(chǎng)和電場(chǎng),在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場(chǎng),同高壓電場(chǎng)組成正交電磁場(chǎng)。在電場(chǎng)的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場(chǎng)的作用與工作氣體的電離幾率加大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉換原理以較高的動(dòng)能脫離靶面飛向基片淀積成膜。 尤特新材是一家專(zhuān)業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)磁控濺射靶材的企業(yè),擁有熱等靜壓預制、真空熱壓、真空熔煉、真空澆筑、冷熱擠壓、靶材綁定、機械加工的設備和能力。產(chǎn)品包括金屬靶材(釕、金、銀、銠、銥、合金)、金屬靶材、陶瓷/氧化物靶材公司擁有雄厚的技術(shù)力量、現代化的準確設備和先進(jìn)的檢測手段,實(shí)行科學(xué)嚴格的制度、生產(chǎn)工藝和操作規程,從產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)到銷(xiāo)售、服務(wù)各個(gè)環(huán)節都嚴格確保符合質(zhì)量體系的要求。 ITO靶材市場(chǎng)應用狀況大部分國家2005年需求563t,2007年869t,2009年1300t,2010年1445t,2012年將近2000t,每年以平均15%的增長(cháng)率遞增。其中日本日礦材料公司占市場(chǎng)50%,日本三井礦業(yè)占25%,東曹占15%,科寧占10%,國內靶材公司占據數額幾乎可以忽略不計。靶材主要應用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導體等領(lǐng)域。貨品的深加工技術(shù)朝高純化、精細化、的方向發(fā)展。由于鉭的表面能形成致密穩定、介電強度高的無(wú)定形氧化膜,易于準確方便地控制電容器的陽(yáng)極氧化工藝,面積,高低溫特性好、使用壽命長(cháng)、綜合性能不錯、其他電容器難以與之媲美,國外對高純金屬材料的開(kāi)發(fā)研究較早。 金,俗稱(chēng)黃金,是一種過(guò)渡金屬,金是延性及展性高的金屬。其化學(xué)性質(zhì)不活潑,是不活潑的金屬元素。一、物理性質(zhì)導熱系數:320 W/m.K蒸發(fā)溫度(°C):1,0熱膨脹系數:14.2 x 10-6/K理論密度(g/cc):19.3比例:0.381蒸發(fā)源:W舟,Mo舟,W坩堝金的塊體材料的電阻率:2.05×10^-8(Ω?m) “MILKYWALUS 異質(zhì)結新產(chǎn)品電池相較于其他電池由于其獨特的雙面對稱(chēng)結構及非晶硅層的鈍化效果,具備著(zhù)轉換效率高、雙面率高、幾乎無(wú)光致衰減、溫度特性良好、可使用薄硅片、可疊加鈣鈦礦等多種天然優(yōu)勢,成為后PERC時(shí)代可能的替代者。目前各大企業(yè)的異質(zhì)結投產(chǎn)比例在逐年上升,預計在2021年異質(zhì)結的產(chǎn)能會(huì )提升至10.5GW。隨著(zhù)異質(zhì)結技術(shù)的逐漸成熟,也可和其他光伏電池技術(shù)相結合,例如異質(zhì)結 I電池、異質(zhì)結鈣鈦礦疊層電池。作為行業(yè)內率先布局異質(zhì)結的企業(yè)之一,東方日升在HJT技術(shù)研發(fā)、量產(chǎn)等方面均具備****優(yōu)勢。其推出的行業(yè)內首半片HJT組件產(chǎn)品,效率高達21.9%,溫度系數為-0.24%/℃。 目前,常規的真空鍍膜機只能讓所有的靶材都同時(shí)工作,所有的靶材都露在真空鍍膜機的工作腔室中,這樣就會(huì )使得打開(kāi)和關(guān)閉真空鍍膜機工作腔室的增加,使得抽真空的延長(cháng),使得整個(gè)生產(chǎn)效率比較低。但是,目前隨著(zhù)真空鍍膜技術(shù)的發(fā)展,使用者對于多樣性的膜層的需求越來(lái)越高,所以使用完一種靶材后再打開(kāi)真空鍍膜機工作腔室,更換另外一種靶材在繼續進(jìn)行工作的方式是不適宜的。目前的情況是,采用離子去轟擊相應的靶材,使得相應的靶材沉積在待加工的工件表面,但是在相應的靶材沉積在待加工的工件表面的時(shí)候,其他的不在工作狀態(tài)的靶材也收到正在工作中的靶材的影響,這樣就會(huì )使得膜層不純,從而導致生產(chǎn)出的代加工件的性能無(wú)法達標。技術(shù)實(shí)現要素:有鑒于此。 UVTM具有經(jīng)驗豐富的粉末冶金,真空熔煉,化合物半導體,稀土冶煉四大方面的材料相關(guān)人士隊伍,重視新產(chǎn)品的研究開(kāi)發(fā),產(chǎn)品種類(lèi)多,涵蓋范圍廣,技術(shù)含量高。經(jīng)營(yíng)方式:靈活的經(jīng)營(yíng)方式為顧客提供量身定做的生產(chǎn)及服務(wù)。無(wú)論你的訂單是大是小,不管你對產(chǎn)品純度、規格有何要求,告訴我們,我們?yōu)槟憔拇蛟熳屇鷿M(mǎn)意的產(chǎn)品。12英寸硅片行業(yè)將實(shí)現快速增長(cháng);8英寸硅片下游終端對應的汽車(chē)電子及工業(yè)應用半導體領(lǐng)域目前快速發(fā)展將推動(dòng)8英寸硅片需求進(jìn)一步上行。光掩膜及光刻膠(i型、g型、KrF型和ArF型光刻膠)是光刻環(huán)節中的關(guān)鍵材料,2018年對應大部分國家市場(chǎng)分別為17.40.4億美元。二者市場(chǎng)主要為日本及歐美企業(yè)壟斷,國產(chǎn)化率水平低。鐵。 利潤同比下降41.4%;SDI的的利潤也有51.1%的下跌。為加大靶材利用率,可采用旋轉磁場(chǎng)。但旋轉磁場(chǎng)需要旋轉機構,同時(shí)濺射速率要減小。旋轉磁場(chǎng)多用于大型或貴重靶。如半導體膜濺射。對于小型設備和一般工業(yè)設備,多用磁場(chǎng)靜止靶源。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點(diǎn)火和濺射很方便。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。按使用的原材料材質(zhì)不同,濺射靶材可分為金屬/非金屬單質(zhì)靶材、合金靶材、化合物靶材等。濺射鍍膜工藝可重復性好、膜厚可控制,可在大面積基板材料上獲得厚度均勻的薄膜,所制備的薄膜具有純度高、致密性好、與基板材料的結合力強等優(yōu)點(diǎn),已成為制備薄膜材料的主要技術(shù)之一。 粉賣(mài)。 即摻錫氧化銦。是透明導電氧化物TCOs的一種,由于良好的導電性和透明性的組合性能,成為主要的透明導電材料。特別是高純度濺射靶材應用于電子元器件制造的物相沉積(PVD)工藝是制備晶圓、面板、太陽(yáng)能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。真空狀態(tài)下,用加速的離子轟擊固體表面,離子和固體表面原子交換動(dòng)量使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面形成所需要的薄膜這一過(guò)程稱(chēng)為濺射。被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的源材料。通常稱(chēng)為靶材。靶材產(chǎn)業(yè)鏈:濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環(huán)節。其中,靶材制造和濺射鍍膜位于中游,是整個(gè)濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節。半導體領(lǐng)域對靶材要求高。WSTS數據顯示。噴涂話(huà)。 光碟的膜層也是多層組成的,它在染料層上鍍上30nm厚的鐵鈷合金記錄層,里面混有非晶態(tài)稀土過(guò)渡元素,再鍍上20到100nm厚的氮化硅介質(zhì)層,后鍍上鋁膜反射層。這些需要落得磁性能。能夠記錄數據的電子產(chǎn)品,要實(shí)現這些功能,還是要靠各種不同物質(zhì)所濺射而成的薄膜,靠其成膜后顯示出來(lái)的晶體狀態(tài)排序來(lái)實(shí)現。這些需要落得磁性能,能夠記錄數據的電子產(chǎn)品,要實(shí)現這些功能,還是要靠各種不同物質(zhì)所濺射而成的薄膜,來(lái)的晶體狀態(tài)排序來(lái)實(shí)現。一般會(huì )由金膜或銀膜替代。隨著(zhù)半導體技術(shù)的迅猛發(fā)展,集成化程度越來(lái)越高,單位面積單晶硅片集成器件數呈指數級增長(cháng),英寸(450mm)或者更高,國內ITO導電膜產(chǎn)業(yè),日本企業(yè)進(jìn)入該產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域較早。
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