尤特新材能制備比例90:10、95:5、97:3平面及旋轉ito靶材，目前，氧化物薄膜材料的主要成型方法主要有：        1. 熱等靜壓法是將粉末或預先壓成的素坯裝入包套后，再將套內抽真空焊接密封，放入高壓容器內，使粉末在高溫及等方壓力下燒結，成型和燒結同時(shí)進(jìn)行 。在ITO靶材的發(fā)展中，早期采用的熱等靜壓技術(shù)難以獲得高密度、大尺寸的材料。隨著(zhù)常壓燒結方法的出現，熱等靜壓法制備的靶材尺寸偏小、密度偏低、失氧率高且該方法設備偏貴、成本偏高的缺點(diǎn)，使熱等靜壓法在ITO陶瓷靶材的制備上不再具備競爭優(yōu)勢，后續的研究和產(chǎn)業(yè)化逐漸被產(chǎn)業(yè)界淡化，但還是比較適合需要缺氧的陶瓷靶材 。       2. 冷等靜壓法是將預先成型的素坯放入橡膠包套內浸于高壓液體下使之承受各向同性的壓力，實(shí)現素坯密度的強化。冷等靜壓只是獲得密度盡可能高的素坯，使素坯的燒結致密化更為容易。由于冷等靜壓不具有熱等靜壓的燒結能力，需要獨立的燒結工藝對素坯進(jìn)行燒制。冷等靜壓能生產(chǎn)大尺寸的靶材，是目前多數企業(yè)優(yōu)先選擇的成型方法。國內外的成型研究表明，冷等靜壓法可以制備出滿(mǎn)足陶瓷靶材所需的高品質(zhì)素坯。但冷等靜壓成型超大尺寸的素坯時(shí)，由于受到腔室尺寸的限制，會(huì )導致設備投資非常昂貴，而且在素坯較薄、尺寸較大時(shí)存在變形問(wèn)題。同時(shí)，壓制不同尺寸的素坯時(shí)，需要制備不同規格的預壓模具，模具成本較高。       3. 在金屬表面涂覆陶瓷層的常用制備方法有：噴涂法、氣相沉積法、高溫點(diǎn)熱源掃描技術(shù)等。噴涂技術(shù)主要優(yōu)點(diǎn)：噴涂材料的成分不受限制，可根據要求選擇，也可以形成復合涂層。基體溫度低，工件溫度可控。被噴涂的構件尺寸不受限制，涂層厚度范圍寬，噴涂設備簡(jiǎn)單，可直接把設備搬至現場(chǎng)進(jìn)行噴涂。操作工序少，效率高，涂層形成速度快等優(yōu)點(diǎn)。 熱噴涂也有缺點(diǎn)：噴涂作業(yè)環(huán)境差、粉塵嚴重、噴涂材料利用率低、熱效率低、難以制備厚度較大的覆層材料等。隨著(zhù)技術(shù)的革新，冷噴涂技術(shù)出現，進(jìn)一步優(yōu)化了噴涂的技術(shù)。冷噴涂制備的陶瓷涂層和金屬涂層，致密性比熱噴涂更高，而含氧量則更低。      4. 陶瓷涂層已成功應用于航空、航天、國防、化工、機械、電力、電子等行業(yè)。金屬表面陶瓷涂層能改變金屬基體表面的形貌、結構與化學(xué)組成，并賦予基體新的性能。在廣州，已經(jīng)有企業(yè)同時(shí)擁有熱噴涂和冷噴涂的加工能力。冷噴涂制備的陶瓷涂層和金屬涂層，致密性比熱噴涂更高，而含氧量則更低。